Silizium-Halbleitertechnologie
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- Synopsis
- Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf#65533;hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen#65533;gen m#65533;ssen, um die geforderten Strukturgr#65533;#65533;en bis zu wenigen 10 nm gleichm#65533;#65533;ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, #65533;tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erl#65533;utert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchf#65533;hrung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. In der 6. Auflage . . .
- Copyright:
- 2014
Book Details
- Book Quality:
- Publisher Quality
- ISBN-13:
- 9783834820853
- Publisher:
- Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden
- Date of Addition:
- 10/19/16
- Copyrighted By:
- Springer
- Adult content:
- No
- Language:
- German
- Has Image Descriptions:
- No
- Submitted By:
- Bookshare Staff
- Usage Restrictions:
- This is a copyrighted book.